大角度离子注入机控制系统软件设计

• 作者: 孙勇 王玮琪 罗宏洋
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 大角度离子注入机 软件结构 SEMI自动化软件标准
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: IC制造设备与工艺
• 页码范围: 19-23
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.3
• 字数: 2627字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2009.02.005

摘要

大角度离子注入机的控制系统具有控制部件和控制算法复杂、支持SEMI自动化软件标准等特点,通过优化软件结构和关键控制算法,成功实现控制系统设计和GEM标准组件设计,测试证明软件自动化程度高、稳定、可靠.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙勇	中国电子科技集团公司电子第四十八研究所	12	15	2.0	3.0
2	罗宏洋	中国电子科技集团公司电子第四十八研究所	4	8	2.0	2.0
3	王玮琪	中国电子科技集团公司电子第四十八研究所	1	2	1.0	1.0