连续式离子层吸附与反应法沉积CuSCN薄膜及其微观结构、光学特性研究

• 作者: 李效民 甘小燕 诸葛福伟 高相东
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 物理学
• 关键词: CuSCN 连续式离子层吸附与反应 微观结构 光学性能
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 8-12
• 页数: 5页
• 分类号: O472
• 字数: 2766字
• 语种: 中文

摘要

采用乙二醇作溶剂,以连续式离子层吸附与反应法(SILAR)实现硫氰酸亚铜(CuSCN)薄膜在ITO、TiO2薄膜以及玻璃衬底上的沉积.通过X射线衍射、扫描电镜和紫外-可见光透过谱等手段表征薄膜结晶性、表面和断面微观形貌以及光学特性.结果表明,衬底以及溶剂性质均对SILAR法薄膜沉积过程存在重要影响.ITO衬底上获得的CuSCN薄膜更为致密,呈结晶态,而TiO2薄膜衬底上的CuSCN薄膜主要由颗粒组成,为非晶态.随沉积次数增加,薄膜表面粗糙度增大,光学透过率逐渐下降.在优化条件下(ITO衬底,20次沉积循环),所得CuSCN薄膜表面致密均匀,可见光透过率约60%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李效民		9	57	4.0	7.0
2	高相东		5	22	3.0	4.0