溶胶-凝胶法制备的ZnO:Al薄膜的表面形貌与导电性

• 作者: 孙福来 方来鹏 谭红琳 邓德国
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 ZnO A13+离子掺杂 导电性
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 232-235,241
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.21
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶一凝胶工艺在普通载玻片上制备出C轴择优取向的ZnO:A1透明导电薄膜.利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)等分析手段对薄膜进行了表征,重点研究了薄膜表面形貌与导电性的关系.结果表明,薄膜具有骨架型网状结构,网状越密集其导电性越好;同时,用高倍数扫描电镜扫描所得的图像越清晰,薄膜的导电性越好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方来鹏	昆明理工大学材料与冶金工程学院	2	7	2.0	2.0
2	谭红琳	昆明理工大学材料与冶金工程学院	25	63	5.0	6.0
3	邓德国	昆明理工大学材料与冶金工程学院	2	19	2.0	2.0
4	孙福来	昆明理工大学材料与冶金工程学院	1	5	1.0	1.0