溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜光电导紫外光敏器件

• 作者: 傅刚 陈环 高荣顺
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO 溶胶-凝胶 正交试验 响应速度 灵敏度
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 压电及其他功能器件
• 页码范围: 227-229,233
• 页数: 4页
• 分类号: TN23
• 字数: 3307字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2009.02.027

摘要

利用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备ZnO薄膜获得了响应速度快和灵敏度高的光电导型紫外光敏器件,并改善了器件的稳定性.采用正交试验表格L18[37]安排试验.分析后得到具有最佳响应时间和灵敏度的优化工艺参数为搅拌时间2.0 h,甩膜速率4 000 r/min,甩膜层数3层,退火温度500℃,退火时间2.5 h,预处理温度200℃,叉指间距0.109 mm.测得器件上升时间5 s,下降时间3 s,在0.85 mW/cm2的紫外光强下的灵敏度(光电流与暗电流之比)R/R0为26,稳定性能良好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅刚	广州大学物理与电子工程学院	53	174	8.0	11.0
2	陈环	广州大学物理与电子工程学院	27	89	6.0	8.0
3	高荣顺	广州大学物理与电子工程学院	1	1	1.0	1.0