类金刚石薄膜纳米摩擦性能的试验研究

• 作者: 张晶 范真
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石薄膜 摩擦性能 摩擦力显微镜
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 38-40
• 页数: 3页
• 分类号: TG5
• 字数: 1798字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.2009.02.011

摘要

利用摩擦力显微镜(FFM),对由等离子体增强化学气相法沉积的类金刚石(DLC)薄膜的纳米摩擦性能进行了试验研究.用原子力显微镜(AFM)观察了DIC薄膜样品的表面形貌,同时测定了其粘附力值.从外加载荷、扫描速度和湿度的角度分析了薄膜的摩擦特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范真		61	532	11.0	20.0
2	张晶	镇江高等专科学校江苏大学	22	34	3.0	5.0