TiAlCrN和TiAlCrN/CrN复合膜的微观组织与力学性能

• 作者: 曾德长 董小虹 邱万奇 陈灵 黄拿灿 黎炳雄
• 来源期刊: 中国有色金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: TiAlCrN膜 TiAlCrN/CrN多层膜 电弧镀 硬度 结合性能
• 年，卷（期）: 2009,（9）
• 所属期刊栏目: 结构材料
• 页码范围: 1608-1612
• 页数: 5页
• 分类号: TB43|TG115.21
• 字数: 4149字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-0609.2009.09.012

摘要

利用离子氮化形成过渡层,通过改变溅射沉积工艺参数,制备了TiAlCrN和TiAlCrN/CrN多层复合膜.采用电子探针(EPMA)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、纳米压痕仪及微米划痕仪等技术表征两种复合膜的成分结构和力学性能.结果表明:两种膜都是面心立方结构,TiAlCrN膜和TiAlCrN/CrN多层膜分别在(111)和(200)面具有一定的择优取向;TiAlCrN膜的结构和成分都比较均匀,而TiAlCrN/CrN多层膜的结构和成分则呈周期性变化.由于离子渗氮层的支撑作用及氮化物外延生长,TiAlCrN/CrN多层膜的显微硬度(3 450 HV)高于TiAlCrN膜的(2 500 HV);两种膜都具有较高的膜基结合力,但TiAlCrN/CrN多层膜的综合力学性能比TiAlCrN膜的更好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾德长	华南理工大学材料科学与工程学院	127	548	11.0	17.0
2	陈灵	华南理工大学材料科学与工程学院	29	99	6.0	8.0
3	邱万奇	华南理工大学材料科学与工程学院	67	339	9.0	15.0
4	董小虹		3	20	2.0	3.0
5	黎炳雄		3	20	2.0	3.0
6	黄拿灿		3	20	2.0	3.0