直波导耦合输出AlGaInAs多量子阱环形激光器研究

• 作者: 于晋龙 尹顺政 李献杰 毛陆虹 蔡道民 赵永林 郭维廉 齐利芳
• 来源期刊: 科学通报
• 关键词: 多量子阱 环形激光器 直波导 双稳态
• 年，卷（期）: 2009,（20）
• 所属期刊栏目: 论文1
• 页码范围: 3088-3091
• 页数: 4页
• 语种: 中文
• DOI: 10.1007/s11434-009-0237-9

摘要

采用InP基InAlGaAs多量子阱激光器外延材料结构,利用感应耦合等离子体(ICP)干法刻蚀技术和聚酰亚胺介质平坦化工艺,研制了多量子阱半导体环形激光器样品.该器件通过加正偏压的环形结构谐振腔实现光激射,然后借助紧邻的直线波导耦合将光信号输出.环形谐振腔直径为700 μm,波导宽度为3μm.用光纤对准直线波导端口耦合测试了环形激光器的光功率-电流特性曲线和激射光谱,其阚值电流为120 mA,在注入电流160 mA时从直波导耦合输出得到激射光谱的中心波长为1602 nm,并结合光功率一电流特性曲线对环形激光器中的工作模式进行了初步分析.