图像处理技术在表晶音叉片激光刻蚀微调中的应用

• 作者: 林志雄
• 来源期刊: 科学技术与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 石英谐振音叉 图像处理 位置检测 激光刻蚀
• 年，卷（期）: 2009,（19）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 5691-5695
• 页数: 5页
• 分类号: TP391.41
• 字数: 3879字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-1815.2009.19.015

摘要

激光刻蚀微调是表晶音叉片频率微调的一种新方法.提出了一个基于图像处理的方案对待加工的音叉片边缘进行检测并计算出相应的可用刻蚀面积.该方案可以很好地解决纠正由于音叉片排列不整齐造成刻蚀位置无法确定而带来的加工速度低下的问题,并能根据刻蚀面积进行加工预判,降低了废品率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林志雄	莆田学院电子信息工程系	22	39	3.0	5.0