分立双室离子镀膜技术浅析

• 来源期刊: 科技创新导报
• 学科: 社会科学
• 关键词: 真空镀膜 分立双室 方法 特点 产品工业化
• 年，卷（期）: 2009,（25）
• 所属期刊栏目: 技术创新
• 页码范围: 19-19
• 页数: 1页
• 分类号: G31
• 字数: 1674字
• 语种: 中文

摘要

通过真空镀膜技术的分析,给出了基本真空镀膜方法,介绍分立双室离子镀膜特点,及IP-4B型分土双室离子镀膜机设计思想,指出其镀膜产品工业化方法.