掺氮氧化锌薄膜的P型转变研究

• 作者: 李敏君 陈奇
• 来源期刊: 牡丹江师范学院学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 射频磁控溅射 氮掺杂氧化锌薄膜 P型
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 物理学
• 页码范围: 21-23
• 分类号: O48|O496
• 字数: 1103字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-6180.2010.02.011

摘要

采用射频磁控溅射法在室温下制备了氮掺杂ZnO薄膜.用蓝宝石为衬底,氩气和不同流量的氮气为溅射气体.使用拉曼光谱仪对样品进行分析,在275 cm-1位置为氮掺杂所引起的峰.样品经高温真空退火后,随着氮气流量的上升,薄膜中的载流子浓度有下降趋势,在氮气流量为6 sccm时,薄膜具有较高的空穴载流子浓度,实现了氮的受主掺杂,氧化锌薄膜的导电类型实现了P型转变.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李敏君	牡丹江师范学院新型碳基功能与超硬材料省级重点实验室	28	58	5.0	6.0
2	陈奇	牡丹江师范学院新型碳基功能与超硬材料省级重点实验室	3	2	1.0	1.0