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最小二乘支持向量机在多层金属膜厚度检测中的应用
最小二乘支持向量机在多层金属膜厚度检测中的应用
作者:
李玉军
梁琨
郭会军
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
电涡流传感器
最小二乘支持向量机
数据拟合
交叉敏感
摘要:
利用多频激励的单一电涡流传感器对工件表面两层金属膜厚度及传感器探头与被测工件之间间隙进行检测,采用多项式拟合法及最小二乘支持向量机技术对系统分别建模.实验结果表明,采用多项式拟合建立的预测模型可以使得传感器的最大位移灵敏度系数由1.03mm-1下降至0.27mm-1,对系统性能有一定的改善;采用最小二乘支持向量机技术建立的预测模型可以使传感器的最大位移灵敏度系数趋于零.传感器测量间隙对铝膜厚度及铜膜厚度测量的交叉敏感得到了有效的抑制,从而提高了系统模型的预测精度.因此采用最小二乘支持向量机建立的回归模型具有较好的预测能力及分析优势.
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文献信息
篇名
最小二乘支持向量机在多层金属膜厚度检测中的应用
来源期刊
西安理工大学学报
学科
工学
关键词
电涡流传感器
最小二乘支持向量机
数据拟合
交叉敏感
年,卷(期)
2010,(3)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
345-350
页数
分类号
TP212|TP181
字数
3961字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1006-4710.2010.03.019
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
李玉军
西安理工大学自动化与信息工程学院
10
134
6.0
10.0
2
梁琨
西安理工大学计算机科学与工程学院
14
70
5.0
8.0
3
郭会军
西安理工大学自动化与信息工程学院
13
244
7.0
13.0
传播情况
被引次数趋势
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引文网络
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引证文献(0)
二级引证文献(0)
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引证文献(1)
二级引证文献(0)
2015(1)
引证文献(0)
二级引证文献(1)
2016(2)
引证文献(0)
二级引证文献(2)
2017(1)
引证文献(0)
二级引证文献(1)
研究主题发展历程
节点文献
电涡流传感器
最小二乘支持向量机
数据拟合
交叉敏感
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
西安理工大学学报
主办单位:
西安理工大学
出版周期:
季刊
ISSN:
1006-4710
CN:
61-1294/N
开本:
大16开
出版地:
西安市金花南路5号
邮发代号:
创刊时间:
1978
语种:
chi
出版文献量(篇)
2223
总下载数(次)
6
总被引数(次)
21166
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