钛合金表面磁控溅射离子渗镀铜的烧蚀特性研究

• 作者: 乔宪武 张高会 徐鹏 李根 黄国青
• 来源期刊: 中国计量学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 钛合金 磁控溅射 渗铜 阻燃
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 页码范围: 274-277,282
• 分类号: TG146.2+3
• 字数: 2755字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1540.2010.03.018

摘要

针对一定条件下钛合金的易燃以及在双层辉光离子渗铜中铜源极易熔的问题,采用了磁控溅射的技术,在Ti6Al4V的表面进行铜元素的渗镀,形成的Ti-Cu阻燃合金层以提高其阻燃性能.研究溅射功率、溅射时间、工作气压等工艺参数对铜渗镀层厚度的影响后,发现0.6 Pa的工作气压、180 W的溅射功率、3 h的溅射时间为优化工艺参数.XRD结构分析表明,Ti6Al4V样品表面形成了含CuTi2相的合金层;激光烧蚀实验表明,钛合金渗铜层的阻燃性能提高了2倍以上,但表面纯铜薄膜层对阻燃性能没有帮助.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张高会	中国计量学院理学院	12	129	4.0	11.0
2	李根	中国计量学院理学院	5	32	3.0	5.0
3	徐鹏	中国计量学院理学院	15	151	6.0	12.0
4	乔宪武	中国计量学院理学院	9	30	3.0	5.0
5	黄国青	中国计量学院理学院	2	71	2.0	2.0