高产能四管卧式热壁型PECVD设备

• 作者: 宋晓彬 张燕 李补忠 郑建宇
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: PECVD 高产能 自动化程度 性价比
• 年，卷（期）: 2010,（7）
• 页码范围: 36-38
• 分类号: TN304.055
• 字数: 1533字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2010.07.010

摘要

介绍了北京七星华创电子股份有限公司自主创新产品国内首台带有自动上下料系统的高产能四管卧式热壁型PECVD设备,该设备具有高产能、自动化程度高、成膜质量好、高性价比等特点,并着重阐述了该设备的技术先进性及性能指标.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑建宇		4	4	2.0	2.0
2	宋晓彬		2	0	0.0	0.0
3	张燕		2	0	0.0	0.0
4	李补忠		2	0	0.0	0.0