面向IC封装的显微视觉定位系统

• 作者: 孔凡芝 张大卫 李君兰 王以忠 赵兴玉
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: IC封装 视觉定位 显微视觉 系统标定 模板匹配
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 所属期刊栏目: 信息科学
• 页码范围: 965-972
• 分类号: TN305|TP242.6
• 字数: 3697字
• 语种: 中文

摘要

为了实现IC封装设备视觉定位系统的整体构建,在分析面向IC封装的视觉系统的基础上,对显微成像系统、视觉系统标定以及模式识别定位算法进行了研究.针对面向IC封装的视觉定位系统的特点,搭建视觉系统,并进行了系统标定.用Matlab编写了模式识别定位软件界面,并进行了相关试验研究.实验分析了系统的定位精度和稳定性,实验结果表明,标定误差基本满足正态分布,XY方向的平均误差为0.014 5和0.106 5 pixel,方差为0.310 3和0.277 5 pixel.经过对视觉定位系统的标定,并使用某种IC芯片进行实际定位实验,结果显示匹配定位误差可以控制在3.5 μm(0.4 pixel)以内.该视觉系统实现了亚像素级的定位精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张大卫	天津大学机械工程学院	146	2041	26.0	38.0
2	王以忠	天津科技大学电子信息与自动化学院	54	226	8.0	13.0
3	孔凡芝	天津科技大学电子信息与自动化学院	5	34	2.0	5.0
4	赵兴玉	天津大学机械工程学院	23	486	13.0	22.0
5	李君兰	天津大学机械工程学院	6	39	3.0	6.0