CVD金刚石膜散热性能的实验及仿真分析

• 作者: 何江 庞丽萍 林贵平
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: CVD金刚石膜 散热 热导率 接触热阻
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 页码范围: 22-27
• 分类号: TQ164
• 字数: 3997字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2010.03.006

摘要

本文基于化学气相沉积(CVD)金刚石膜的超高热导率,设计并搭建了一套实验系统,分析其对于小空间高热流密度电子元件的散热效果.通过测量加热器及材料表面的温度值可知,相同工况下,金刚石膜温度梯度小,温度分布均匀性好,表面最大温差仅为铜的一半且加热面温度相比于铜更低.实验结果说明CVD金刚石膜的散热性能明显优于传统散热材料铜.实验验证了经过Ti-Ni-Au金属化处理的CVD金刚石薄膜具有可焊性.在实验基础上,利用Flotherm软件对系统进行仿真建模,进一步探讨了材料厚度、热导率及接触热阻对加热面温度和最大热流密度的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林贵平	北京航空航天大学航空科学与工程学院	114	849	15.0	23.0
2	庞丽萍	北京航空航天大学航空科学与工程学院	47	226	8.0	14.0
3	何江	北京航空航天大学航空科学与工程学院	5	31	3.0	5.0