射频微机电系统开关软磁悬臂梁微电镀工艺

• 作者: 吴军民 汤学华
• 来源期刊: 上海电机学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 悬臂梁 镍铁 电镀 振动样品磁强计
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 193-196
• 分类号: TQ153.2
• 字数: 2746字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-0020.2010.04.002

摘要

研究了一种电磁型射频(RF)微机电系统(MEMS)开关的软磁悬臂梁的制备工艺.为了得到适合MEMS器件应用的镍铁合金磁性薄膜,展开微电镀工艺分析,采用振动样品磁强计测量镍铁合金薄膜的磁参量.实验结果:最大相对磁导率约为460,薄膜矫顽力约为490 A/m,饱和磁感应强度约为0.9 T,剩磁感应强度为0.03～0.06 T.此结果为开关结构设计优化提供了依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴军民	上海电机学院汽车学院	7	20	2.0	4.0
2	汤学华	上海电机学院机械学院	19	89	5.0	9.0