聚酰亚胺多模干涉器结构的加速度传感器

• 作者: 王海容 禹忠 蒋庄德 郑建邦
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 多模干涉器 加速度计 聚合物 有限元法 束传播法
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 页码范围: 185-189
• 分类号: TN256
• 语种: 中文

摘要

研究了一种基于多模干涉器结构的聚合物波导加速度传感器.根据多模干涉器的自映像原理,输入光场受到加速度作用与干涉区产生相对位移,各模式激励系数发生改变,导致输出场强的变化,从而测得加速度.加速度传感器的悬臂粱形变通过有限元方法进行仿真分析,多模干涉器的光传榆性能通过束传播法仿真分析,优化了结构和光学性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋庄德	西安交通大学精密工程研究所	165	1512	18.0	28.0
2	郑建邦	西北工业大学理学院光信息技术实验室	31	268	8.0	15.0
3	王海容	西安交通大学精密工程研究所	29	262	10.0	15.0
4	禹忠	西安交通大学精密工程研究所	8	63	3.0	7.0