计量型AFM力曲线功能的开发及其在纳米振动测量中的应用

• 作者: 傅星 徐临燕 栗大超 胡小唐 邱晗
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 计量型原子力显微镜 力曲线 纳米梁谐振器 振动测量 显微激光多普勒
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 401-405
• 分类号: TP216
• 字数: 2818字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2010.05.004

摘要

提出了一种在计量型原子力显微镜(AFM)上开发力曲线功能模块的方法.通过在计量型原子力显微镜上增加可调三角波发生器、信号切换和缓冲电压保护电路,对计量型原子力显微镜的内部驱动信号和外加驱动信号进行了平滑切换,避免了原子力显微镜压电陶瓷驱动器的剧烈变化,实现了计量型原子力显微镜的力曲线功能.采用开发的力曲线模块绘制了计量型原子力显微镜的力曲线图形,基于力曲线功能测量了纳米梁谐振器的离面振动特性,并与显微激光多普勒测振仪的测振结果进行了比对,实验结果表明本文提出的方法和建立的系统是正确的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡小唐	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	205	1913	21.0	33.0
2	栗大超	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	89	722	14.0	20.0
3	傅星	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	107	753	14.0	20.0
4	徐临燕	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	15	103	7.0	9.0
5	邱晗	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	3	11	2.0	3.0