应用电化学技术监控镀铜层性质的实用方法

• 作者: 蔡积庆
• 来源期刊: 印制电路信息
• 学科: 工学
• 关键词: 电化学技术 电镀铜 导通孔填充 氧化膜 镀层性质
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 孔化与电镀
• 页码范围: 35-39,69
• 页数: 6页
• 分类号: TN41
• 字数: 5745字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-0096.2010.02.009

摘要

概述了应用电化学技术监控镀铜层性质的实用方法.它适用于镀层填充导通孔的镀铜监控.