铝离子掺杂氧化锌薄膜的溶胶-凝胶法制备及性能

• 作者: 刘天中 孙武珠 曹立新 柳伟 王景 苏革 董征 贾波
• 来源期刊: 材料导报：纳米与新材料专辑
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 铝离子掺杂氧化锌 透光率
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 页码范围: 340-342
• 页数: 3页
• 分类号: TB383

摘要

运用室温溶胶-凝胶技术和热处理工艺，在载玻片上制备了铝离子掺杂的ZnO薄膜。采用X射线衍射（XRD）和扫描电子显微镜（SEM）对薄膜的成分、结构和形貌进行了表征；采用紫外-可见光分光光度计对薄膜的透光性能进行了研究。结果表明，所制备的氧化锌薄膜为六方纤锌矿结构，沿C轴方向择优生长；铝离子的掺杂没有改变氧化锌的基本结构，所掺杂的铝离子为取代锌离子的替位掺杂；热处理后，氧化锌颗粒为六角形针（柱）状形貌；随着热处理温度的升高，薄膜的透光率增大；经600℃热处理后随着铝离子掺杂浓度的增加，薄膜的透光率先增大后减小，当铝离子掺杂浓度为2％时透光率最大；当铝离子掺杂浓度较大时，晶格畸变的影响使薄膜的透光率减小。当溶胶浓度为0．6mol／L、铝离子掺杂浓度为2％和热处理温度为600℃时，所制备薄膜的质量和性能最好。