微电铸层均匀性的影响研究

• 作者: 姜博 王星星 雷卫宁
• 来源期刊: 电镀与环保
• 学科: 工学
• 关键词: 微电铸 工艺 均匀性 影响
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 10-13
• 分类号: TQ153
• 字数: 3107字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-4742.2010.04.003

摘要

微电铸技术加工的器件往往存在铸层不均匀的缺陷,导致其质量和性能大大降低.针对微电铸的不均匀性,介绍了微电铸工艺流程,从几何因素和电化学因素两方面对微电铸层均匀性的影响进行了综述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	雷卫宁	江苏技术师范学院机械与汽车工程学院	29	179	8.0	11.0
2	王星星	江苏工业学院机械与能源工程学院	2	16	2.0	2.0
6	姜博	江苏工业学院机械与能源工程学院	1	12	1.0	1.0