晶振电极激光减薄调频技术的研究

• 作者: 任高潮 李强 王德苗 董树荣 金浩
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 石英晶振 激光调频 谐振频率 Q脉冲宽度
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 425-429
• 分类号: TN384
• 字数: 2537字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2010.04.18

摘要

石英晶振的谐振频率在出厂前都需要进行微调,使之达到需要的标称值.本文提出激光调频的新技术,利用适当激光能量使电极膜层汽化减薄,从而使晶振的频率精确升高到预期值,重点研究了激光器的工作电流和Q脉冲宽度等参数对晶振频率微调的影响.实验结果表明:当工作电流太小(<10 A)或Q脉冲宽度太大(>10μs)时,激光脉冲的峰值能量密度太小不足以有效实现频率微调;当工作电流和Q脉冲宽度比较合适(电流约为11 A,Q脉冲宽度为4～10μs)时,石英晶振的谐振频率可以被线性地调节,此时对晶振其它电性能参数影响很小;当工作电流过大(>11 A)或Q脉冲宽度过小(<4μs)时,激光脉冲能量密度过大,很容易对电极膜造成损伤而导致不能起振.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董树荣	浙江大学信电系	51	627	14.0	23.0
2	王德苗	浙江大学信电系	66	789	15.0	24.0
3	金浩	浙江大学信电系	27	227	10.0	14.0
4	李强	浙江大学信电系	90	756	15.0	23.0
5	任高潮	浙江大学信电系	13	64	5.0	8.0