用有限元仿真计算压阻式MEMS压力传感器的输出

• 作者: 孙小龙
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 压力传感器 有限元分析 Coventorware
• 年，卷（期）: 2010,（8）
• 页码范围: 12-13,39
• 分类号: TP212
• 字数: 1391字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2010.08.005

摘要

讲述了一种用Coventorware对压阻式MEMS压力传感器进行有限元仿真的方法,用这种方法可以直接计算出传感器在额定压力下的信号输出.这种方法可以使MEMS压力传感器设计过程变得精确、直观和简单,改变了以往设计过程中通过经验来确定压力传感器膜厚度和电阻条位置的方式.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙小龙		1	4	1.0	1.0