ITO薄膜导电性能对温度的响应

• 作者: 况琦 刘婧 杨斌
• 来源期刊: 浙江理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 掺锡氧化铟薄膜 溶胶凝胶法 方阻 温度
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 721-724
• 分类号: TN304.055
• 字数: 1856字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-3851.2010.05.006

摘要

以无机盐为原料,采用溶胶-凝胶法制得透光导电ITO薄膜.用温度控制器改变ITO薄膜温度,用SZT-2四探针测试仪测膜的方阻.结果表明:在温度的循环变化过程中,ITO薄膜的方阻随着温度的上升而降低,在温度降低时沿原曲线返回,且重演性好,高温时电阻响应的灵敏度较大,可在使用过程中起到温度的传感作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨斌	浙江理工大学先进纺织材料与制备技术教育部重点实验室	42	209	9.0	12.0
2	况琦	浙江理工大学先进纺织材料与制备技术教育部重点实验室	2	0	0.0	0.0
3	刘婧	浙江理工大学先进纺织材料与制备技术教育部重点实验室	8	4	2.0	2.0