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硅烷法制备多晶硅工艺的探讨
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摘要：
介绍了硅烷热解法制备多晶硅几种工艺如Komatsu的硅化镁法、UC的歧化法、MEMC的新硅烷法等,指出新硅烷法是一种比较优秀的路线.
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多晶硅
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多晶硅
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期刊影响力
河南化工
主办单位：
河南省化工研究所
出版周期：
月刊
ISSN：
1003-3467
CN：
41-1093/TQ
开本：
大16开
出版地：
郑州市建设东路37号
邮发代号：
36-206
创刊时间：
1975
语种：
chi
出版文献量（篇）
7385
总下载数（次）
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总被引数（次）
17010
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