表面活性剂在P型锗片磨削工艺中的应用

• 作者: 刘春香 杨洪星 赵权 陆峰
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 表面活性剂 锗 表面磨削
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 28-30
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.2
• 字数: 1572字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2010.01.006

摘要

由于锗材料具有优良的抗辐射性能,在航天领域获得了新的应用.在锗单晶片的磨削过程中,砂轮磨损产生的颗粒以及磨削下来的锗屑容易将砂轮阻塞,从而对锗单晶片表面的磨削纹路产生影响.通过试验,在去离子水管路上增加一条表面活性剂管路,可有效减少砂轮阻塞现象.降低砂轮修整的频率,提高了锗磨削片的表面质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵权	中国电子科技集团公司第四十六研究所	30	136	6.0	9.0
2	杨洪星	中国电子科技集团公司第四十六研究所	50	145	6.0	8.0
3	刘春香	中国电子科技集团公司第四十六研究所	18	79	5.0	7.0
4	陆峰	中国电子科技集团公司第四十六研究所	11	18	3.0	4.0