电泳法制备择优取向钛酸薄膜

• 作者: 严有为 姜鑫 张五星 薛丽红
• 来源期刊: 稀有金属材料与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 钛酸薄膜 TiO2 择优取向 电泳沉积
• 年，卷（期）: 2010,（z1）
• 页码范围: 382-385
• 分类号: TG1462+3|TQ134.1
• 字数: 2972字
• 语种: 中文

摘要

以钛酸的纳米单片层为前驱体,采用电泳沉积法在Pt极板上制备择优取向钛酸薄膜,并通过热处理使其转换成TiO2薄膜.考察了悬浮介质和沉积电压对钛酸薄膜形貌及结构的影响,通过XRD、SEM对薄膜进行了表征.结果表明:在乙醇:水为1:1的悬浮介质中沉积制得的钛酸薄膜均匀、平整、致密,具有很强的b轴取向;薄膜的厚度随电压的升高而增厚;经500 ℃热处理后,钛酸薄膜转变成具有(101)择优取向的锐钛矿相结构的TiO2薄膜,颗粒尺寸分布均匀,平均粒度约40 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛丽红	华中科技大学材料成形与模具技术国家重点试验室	23	118	7.0	9.0
2	严有为	华中科技大学材料成形与模具技术国家重点试验室	78	820	17.0	23.0
3	张五星	华中科技大学材料成形与模具技术国家重点试验室	21	157	8.0	12.0
4	姜鑫	华中科技大学材料成形与模具技术国家重点试验室	2	2	1.0	1.0