纳秒激光在硅表面微结构加工及其荧光效应

• 作者: Peter Zeppenfeld 傅星 刘春阳 夏一 孙凤鸣 孙立东 胡小唐 邬泳
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 纳秒脉冲激光 微加工 荧光效应 硅材料
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 激光器件与元件
• 页码范围: 10-11
• 页数: 2页
• 分类号: TN24
• 字数: 3005字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.2010.01.004

摘要

本文自主研发设计了一套基于纳秒脉冲激光的加工系统,包括了控制单元、上位机图形软件、机械结构和光路系统.利用此系统,在单晶硅表面进行了微结构图形的加工实验,得到了较好的加工效果.借助卤素灯照明的显微镜和荧光显微镜对结果进行了进一步的观察分析,发现利用荧光显微镜进行观察,加工后的区域在特定波长照明光的照射下激发出荧光,可以清楚的看到加工结构的内部信息,边缘特征.说明纳秒脉冲激光可以改变硅材料表面的光学属性,这对进一步研究激光和硅材料的相互作用打下了一定的基础.