高功率低发散角垂直腔面发射激光器阵列

• 作者: 刘云 刘光裕 史晶晶 孙艳芳 宁永强 张岩 张星 王烨 王立军 王贞福 秦莉
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光器 垂直腔面发射激光器 阵列 高功率 远场发散角
• 年，卷（期）: 2010,（9）
• 页码范围: 2428-2432
• 页数: 5页
• 分类号: TN248.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL20L03709.2428

摘要

报道了980 nm高功率低发散角垂直腔面发射激光器(VCSEL)阵列.通过增大阵列单元的出光孔径和单元间距来减小阵列器件的电阻和热阻,制作的台面为直径250 μm,氧化孔径200μm,单元间距280 μm的4×4二维阵列,与有源区面积相同的单管器件相比具有更高的输出功率.在室温连续工作条件下,阵列在注入电流6 A时最高输出功率为1.81 W,阈值电流为1.2 A,斜率效率为0.37 W/A,微分电阻为0.01 Ω.针对较大的远场发散角对单元器件有源区中电流密度分布进行了计算,分析了器件高阶横模产生的原因.使用镀制额外金层的结构来改善远场发散角,将半角宽度由30°压缩到15°以下,改进后器件的输出功率略有下降.60℃恒电流模式寿命测试结果显示器件在800 h后输出功率衰减小于10%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张星	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	35	193	8.0	13.0
2	王立军	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	131	1339	19.0	31.0
3	宁永强	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	49	191	9.0	13.0
4	秦莉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	50	185	8.0	13.0
5	刘云	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	99	706	15.0	23.0
6	张岩	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	75	662	13.0	23.0
7	王贞福	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	8	11	2.0	3.0
8	王烨	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	12	72	4.0	8.0
9	史晶晶	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	4	30	2.0	4.0
10	刘光裕	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	5	0	0.0	0.0
11	孙艳芳	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	1	0	0.0	0.0