金刚石薄膜断裂强度及形貌分析

• 作者: 吕反修 李成明 郭世斌 陈良贤 陈飞
• 来源期刊: 新技术新工艺
• 学科: 工学
• 关键词: 自支撑金刚石薄膜 断裂强度 形貌分析
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 所属期刊栏目: 热加工工艺技术与材料研究
• 页码范围: 107-109
• 分类号: TG175
• 字数: 2394字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-5311.2010.05.036

摘要

金刚石薄膜以其优异的性能成为许多行业不可或缺的功能材料,但因金刚石薄膜制备质量差、不稳定,导致金刚石薄膜力学性能的研究一直处于探索阶段,没有得出系统全面的结论.本文利用金刚石力学试验机对自支撑金刚石薄膜断裂强度与薄膜沉积厚度、抛光与否之间的关系进行了研究,利用扫描电子显微镜SEM对金刚石薄膜的表面和断口形貌进行了分析.研究表明,自支撑金刚石薄膜断裂主要是解离断裂,且其断裂强度随着沉积厚度的增加而减低,自支撑金刚石薄膜是否经过抛光对其断裂强度的大小有显著影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕反修	北京科技大学材料科学与工程学院	151	1208	18.0	24.0
2	陈飞	北京科技大学材料科学与工程学院	100	461	11.0	15.0
4	李成明	北京科技大学材料科学与工程学院	71	480	12.0	19.0
5	陈良贤	北京科技大学材料科学与工程学院	34	69	4.0	5.0
6	郭世斌	北京科技大学材料科学与工程学院	8	31	3.0	5.0