高精度电容式微型压力传感器

• 作者: 冯勇建 谢义英
• 来源期刊: 中国科技成果
• 学科: 工学
• 关键词: 微传感器 电容式 工艺
• 年，卷（期）: 2010,（20）
• 页码范围: 28-29,34
• 分类号: TP2
• 字数: 1972字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3772/j.issn.1009-5659.2010.20.016

摘要

本文从应用开发MEMS产品的实用角度出发,着力介绍一种新型的电容式微型压力传感器的结构组成和它的MEMS制造工艺.文中详细给出了这种电容式微型压力传感器的结构组成图、组成尺寸和它各部分部件的材料构成以及在硅材料加工过程中存在的主要技术难题.最后,详细给出了电容式微型压力传感器的加工工艺过程.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯勇建		103	953	15.0	26.0