PZT薄膜制备及激光感生热电电压研究

• 作者: 尚杰 张辉 张鹏翔 曹明刚
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 铁电薄膜 激光感生热电电压信号 脉冲激光沉积 组分和掺杂 X射线衍射
• 年，卷（期）: 2010,（12）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 3127-3132
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL20103712.3127

摘要

采用脉冲激光沉积(PLD)技术,在SrTiO3(STO)单晶衬底上成功地制备了不同组分x(x=0.03,0.30,0.53,0.80,0.97)和掺杂M(原子数分数为3%,M=Na,Sr,Bi,Ce)的锆钛酸铅[Ph(ZrxTi(1-x)),PZT]铁电薄膜.检测结果表明,所有薄膜都是单一取向生长的,且没有杂相存在,但组分的改变和掺杂元素的引人会对薄膜的结晶质量产生不同程度的影响.另外,在10°倾斜的SrTiO3单晶衬底上生长的PZT铁电薄膜中还清楚地观察到了激光感生热电电压(LITV)信号,且在能量密度为0.16J/cm2的紫外脉冲激光辐照下,x＝0.03组分的PZT铁电薄膜中的LITV信号最大,峰值电压为60mV,而在Ph(Zr0.53 Ti0.47)O3铁电薄膜中,掺杂元素Na时LITV信号最大,峰值电压为61mV,这与不掺杂时相比,其峰值电压增大了近50%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张鹏翔		148	1293	19.0	28.0
2	张辉		66	154	6.0	8.0
3	尚杰		12	46	5.0	6.0
4	曹明刚		7	5	1.0	2.0