微机械热对流加速度计分辨率的影响因素分析

• 作者: 李顶根 胡俊强
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 加速度计 热对流 温度场分析 单晶硅腔体深度
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 测试技术与理论研究
• 页码范围: 1-7
• 分类号: TP212
• 字数: 2929字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2011.01.001

摘要

为进一步提高微机械热对流加速度计的设计精度,从而为加工性能优良、灵敏度高的热对流传感器提供依据,详细分析了封闭空腔内气体在横轴和纵轴七格拉晓夫数和瑞利数的数量级,判定封闭空腔内气体流动为层流自然对流,以此为基础采用FLUENT流体分析软件对热对流加速度计内封闭空腔中气体进行数值分析,获取了不同单晶硅腔体深度的微机械热对流加速度计的温度场分布.对温度场分布的分析结果表明,微机械热对流加速度计单晶硅腔体深度为1200 μml 500/μm时,能获得最高的分辨率,此时两对称布置的热敏元件最大温差大于0.89℃/g.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李顶根	华中科技大学能源与动力工程学院	72	430	12.0	18.0
2	胡俊强	华中科技大学能源与动力工程学院	6	4	1.0	2.0