硅微加速度计六自由度悬浮控制系统设计

• 作者: 严小军 韩丰田 马高印
• 来源期刊: 导航与控制
• 学科: 交通运输
• 关键词: 微机电系统 硅微加速度计 六自由度 静电悬浮控制
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 仪表与电路
• 页码范围: 16-21
• 分类号: U666.1
• 字数: 2555字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2011.04.004

摘要

六轴静电悬浮的硅微加速度计以其低量程、高分辨率和多轴集成等特点,在微小航天器的无拖曳控制、微重力测量等方面有着独特而重要的用途.本文针对外带梳齿式长方体检测质量的表头结构,依据带宽、量程、刚度等指标要求,经位移检测解耦变换与加力控制耦合变换后,分别设计出六轴稳定悬浮控制器.在地面大气环境下的仿真分析结果表明,阻尼最小的轴向转动超调量为14.2％,六轴控制器的带宽范围为368 ～ 489Hz,轴向/径向平动的静态刚度分别为2.82×105N/m和2×103N/m,轴向/径向转动的静态刚度分别8.8×10-3N·m/rad和9.77×10 -2N@ m/rad；综合指标满足六轴悬浮控制的性能要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩丰田	清华大学精密仪器与机械学系	48	263	9.0	12.0
2	严小军		36	54	5.0	6.0
3	马高印		8	13	2.0	2.0