H型亚微米梁的混频特性测量

• 作者: 于虹 岳东旭 袁为民
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: H型亚微米梁 混频特性 窗口效应 静电激励
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 纳米技术
• 页码范围: 305-309
• 分类号: TN16
• 字数: 1992字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2011.04.004

摘要

本文简述了H型亚微米梁的工艺实现过程,从实验上详细研究H型梁的两种混频方式:向下混频和向上混频.考察的H型粱长度分别为8μm、10 μm、12 μm和15 μm,小激励下谐振频率分别为13.30 MHz、8.77 MHz、6.12 MHz和3.65 MHz.通过在梁上施加两路不同频率的静电激励信号,调整两信号频率差值及和值在粱的本振频率附近变化,经过梁的自适应过程实现信号混频,最后由多普勒测振仪检测粱的混频特性.实验结果表明梁在向下混频时的振幅随两路信号频率的平移而改变,出现所谓的窗口效应；对于这两种混频方式,混频分量越接近梁的本征频率,梁的振幅越大,反之梁振幅下降越多；在输入信号功率均设置为14 dBm时,对比向上混频,向下混频使得粱的振幅更大,诸如12 μm长的梁向下混频时梁振幅为4.082nm,而向上混频时混频处振幅仅为1.826nm.