MEMS三维微力探针传感器设计及性能测试

• 作者: 林启敬 王伟忠 赵玉龙
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS传感器 三维微力 探针 性能测试
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 199-202
• 分类号: TH823
• 字数: 2243字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2011.03.003

摘要

设计了一种基于压阻效应的微机电系统(MEMS)三维微力探针传感器并对其进行了性能测试.传感器传感单元采用四梁支撑结构,接触探针采用台阶式石英光纤,使传感器的抗干扰能力和灵敏度得到了显著的提高.设计了传感器的过载保护单元,传感器整体尺寸为4 mm×4 mm×16 mm.利用三维超精密定位平台与分析天平搭建传感器测试平台,对三维微力传感器进行性能测试.测试结果表明,该传感器灵敏度优于0.010 6 mV/μN,分辨率优于3μN,非线性误差优于传感器满量程的0.94%.因此,该传感器具有体积小、成本低、灵敏度高、抗干扰能力强、线性好、分辨率高的特点,在微力测试领域拥有广阔的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵玉龙	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	81	540	14.0	19.0
2	林启敬	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	6	14	2.0	3.0
3	王伟忠	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	2	9	2.0	2.0