新一代PTFE滤膜在半导体和LCD/FPD中的应用

• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体 PTFE 滤膜 应用 高密度聚乙烯 聚四氟乙烯 化学品 FPD
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 企业之窗
• 页码范围: 59-59
• 分类号: TN304.23
• 字数: 1033字
• 语种: 中文

摘要

在SEMICONJAPAN展会上，戈尔公司引进了高密度聚乙烯系列的新一代聚四氟乙烯（PTFE）滤膜制成的筒状滤芯，用于半导体和LCD／FPD制造所用高纯化学品的生产中。