基于MARK50型电子束蒸发设备高压故障分析研究

• 作者: 侯海峰 刘宗贺 方雪冰 易锦程
• 来源期刊: 中国材料科技与设备
• 学科: 工学
• 关键词: 高压 电流 电子柬斑
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 82-84
• 页数: 3页
• 分类号: TM924.15

摘要

本文分析了MARK50型蒸发台常见的高压、发射电流和电子柬斑故障现象，并从维修的经验方面进行分析，给出了每种现象的检查和维修方法。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	侯海峰		5	1	1.0	1.0
2	方雪冰		6	11	1.0	3.0
3	刘宗贺		6	11	1.0	3.0
4	易锦程		1	0	0.0	0.0