硅表面金刚石膜红外增透性能研究

• 作者: 丰杰 李建国 梅军 胡东平
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石薄膜 增透膜 红外透过
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 页码范围: 51-55
• 分类号: TQ164
• 字数: 3063字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2011.06.012

摘要

通过在大面积区熔硅表面沉积金刚石膜,制作硅的红外增透膜.经扫描电镜观察,金刚石膜的颗粒尺寸平均约2μm,晶体颗粒形状规则；测试单面镀膜的红外透过率最高达65％,双面镀膜红外透过率最高达84％；实验证明硅表面金刚石具有一定的抗热冲击性能；分析了硅表面金刚石薄膜的红外增透特性,提出了进一步提高金刚石膜红外增透性能的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丰杰	中国工程物理研究院总体工程研究所	23	116	7.0	9.0
2	胡东平	中国工程物理研究院总体工程研究所	15	79	6.0	8.0
3	李建国	中国工程物理研究院总体工程研究所	26	107	7.0	9.0
4	梅军	中国工程物理研究院总体工程研究所	30	240	9.0	14.0