氮化硅陶瓷表面DLC膜的高温摩擦学性能

• 作者: 卓会丹 古乐 宋宝玉
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 滚动摩擦 高温 DLC膜 陶瓷
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 47-50
• 分类号: TG115.58
• 字数: 2055字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2011.04.010

摘要

利用离子注入与沉积工艺在氮化硅陶瓷盘表面制备了厚约500 nm的类金刚石碳膜(DLC膜).采用有限元模型模拟计算了DLC膜的热应力,分析了不同工作温度下薄膜热应力的大小和分布；利用高温球盘摩擦试验机考察了陶瓷盘表面DLC膜的摩擦磨损特性；将表面沉积DLC膜的氮化硅陶瓷球经历不同温度循环后分别装入满装角接触轴承,测试了轴承的滚动摩擦力矩.试验结果表明:在常温到350℃范围内,氮化硅陶瓷表面的DLC膜可降低滑动摩擦因数和轴承的滚动摩擦力矩值,但随着温度的升高,DLC膜的磨损寿命变短.在经历400℃热循环后,陶瓷表面DLC膜在热应力和机械力的共同作用下起皱、脱落,配副摩擦恢复到未镀膜水平.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋宝玉	哈尔滨工业大学机电工程学院	89	1133	17.0	30.0
2	古乐	哈尔滨工业大学机电工程学院	64	1104	17.0	31.0
3	卓会丹	哈尔滨工业大学机电工程学院	1	16	1.0	1.0