具有栅结构与静电梳齿驱动的电容式微机械陀螺的仿真、设计与测试

• 作者: 刘俊 张文栋 张琼 熊继军 石云波 谭秋林
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 电容式微机械陀螺 栅结构 仿真与设计
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 207-211
• 分类号: TP212.1
• 字数: 1738字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2011.03.005

摘要

电容式陀螺仪是一种振动式陀螺仪,由于加工的特殊性使其具有了传统的陀螺无法比拟的优点,从而拓宽了其应用领域.为了提高陀螺仪的检测精度,本文提出了一种静电梳齿驱动、栅结构的电容式检测的微机械陀螺仪的设计方法,并分析了其工作原理.运用ANSYS软件对陀螺结构进行了仿真和模态分析,仿真结果与理论计算结果相接近.所设计的陀螺结构采用体硅标准工艺方法进行了设计,并对其进行了流片加工和封装,最终得到了电容式微机械陀螺仪.实验测试的结果表明,陀螺驱动模态的固有频率为4.06kHz,灵敏度为0.027 9 v/((°)s-1).