金刚石薄膜的双波段红外光学性能研究

• 作者: 万强 丰杰 李建国 胡东平
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石薄膜 双面涂层 双波段 红外增透
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 页码范围: 27-30,34
• 分类号: TQ164
• 字数: 3536字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2011.03.007

摘要

本文针对红外光学材料对宽波段透过的要求,采用HFCVD法在硅基体上制备了红外增透的金刚石薄膜.设计了高红外透过率的膜系结构,探讨了基体处理方式、单面、双面涂层工艺和厚度对红外透过率的影响,并给出了相关的光谱测试结果和金刚石薄膜的微观形貌、结构表征.结果表明:双面涂层金刚石薄膜工艺具有优异的双波段红外性能,在3.0～5.0μm波段的最大红外透过率达到80%,接近于理论值;在8.0～14.0 μm波段的最大增透率达18%,最大红外透过率达65%,与天然金刚石的透过率接近.这对于红外光学系统的应用具有十分重要的意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丰杰	中国工程物理研究院总体工程研究所	23	116	7.0	9.0
3	胡东平	中国工程物理研究院总体工程研究所	15	79	6.0	8.0
4	李建国	中国工程物理研究院总体工程研究所	26	107	7.0	9.0
5	万强	中国工程物理研究院总体工程研究所	43	122	7.0	8.0