稳健设计在微机械陀螺结构参数设计中的应用

• 作者: 周浩
• 来源期刊: 中国工程物理研究院科技年报
• 学科: 工学
• 关键词: 结构参数设计 稳健设计 微机械陀螺 微电子机械系统 MEMS器件 SYSTEMS 应用 产品性能
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 169-171
• 页数: 3页
• 分类号: TH122

摘要

相对于宏观机械系统，微电子机械系统（Micro—Electro—Mechanical．Systems，MEMS）器件的特征尺寸和性能对于设计参数的变异（通常是由于加工误差引起的）更敏感。因此在MEMS器件设计阶段引入稳健（robust）设计可以有效抑制产品性能的波动。