新型摇摆质量微陀螺的设计与制作

• 作者: 吴学忠 周泽龙 李圣怡 王雄 肖定邦 陈志华
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 航空航天
• 关键词: 摇摆质量陀螺 微陀螺 体微加工 各向异性湿法腐蚀
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 412-416
• 分类号: V241.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2011.05.006

摘要

首先介绍了两种结构完全对称的高灵敏度的摇摆质量陀螺.设计并制作了一种对角驱动的新型摇摆质量微陀螺.利用硅的各向异性湿法腐蚀等MEMS体加工技术,简化了该微陀螺的制作工艺.该微结构的对称性、一致性和加工精度有很大改善,尤其是振动梁、激励部件和敏感部件等关键部件.详细阐述了该微陀螺的工作原理和结构设计,完成了微陀螺关键部件的制作和样机组装.利用NF公司的FRA 5087频率响应分析仪测试了样机大气下的振动模态,其中驱动频率为5.563 2 kHz,检测频率为5.553 4 kHz,频差为9.8 Hz,小于0.2％.利用频谱分析的方法测试了样机的哥氏力.测试结果表明这种摇摆质量微陀螺的设计与制作方法是可行的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李圣怡	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	77	1079	17.0	30.0
2	肖定邦	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	18	151	6.0	12.0
3	吴学忠	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	29	199	7.0	13.0
4	陈志华	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	14	130	6.0	11.0
5	周泽龙	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	4	6	2.0	2.0
6	王雄	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	5	18	2.0	4.0