激光划切机的光束传递系统设计

• 作者: 赵志伟 韩微微 高爱梅
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 激光加工 UV激光 激光聚焦
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 页码范围: 16-19
• 分类号: TN205
• 字数: 2719字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2011.02.004

摘要

针对LTCC激光划切机的光束传递系统,介绍了355 nm固体激光的扩束、聚焦原理、系统装调与精密调焦方法.该方法适用于激光加工设备的激光光束传递系统搭建,简单实用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩微微	中国电子科技集团公司第四十五研究所	5	17	3.0	4.0
2	高爱梅	中国电子科技集团公司第四十五研究所	9	9	2.0	2.0
3	赵志伟	中国电子科技集团公司第四十五研究所	2	3	1.0	1.0