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带有力反馈控制的三明治式微机械干涉加速度计
带有力反馈控制的三明治式微机械干涉加速度计
作者:
伍康
刘力涛
叶雄英
周兆英
陈烽
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
微加速度计
光栅
干涉
力反馈
三明治
摘要:
设计了一种静电力反馈控制的三明治式微机械干涉加速度计,加速度计由敏感芯片、半导体激光器、光电二极管以及相应的驱动电路和反馈控制电路组成.敏感芯片为玻璃-硅-玻璃3层结构,通过硅-玻璃键合体硅工艺制成.硅质量块由铝梁支撑,底部玻璃基片上有金属光栅和电极,通过在质量块和底部玻璃基片上的电极之间施加电压可以调节质量块与玻璃基片间的间隙.入射激光照射到敏感芯片上的光栅上,产生衍射光束,其光强随质量块与下玻璃的间距而变化.反馈控制电路通过测量衍射光强的变化来改变质量块与底电极之间的电压,使得质量块与底部玻璃基片的距离保持为入射光波长1/8的奇数倍,从而提高输出线性度,改善灵敏度,增大量程.
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模型
方程
参数
三明治结构大量程MEMS惯性伺服加速度计研究
微机械加速度计
四梁中心悬臂结构
三明治结构
高g值高频响微机械加速度计研究
加速度
微机械
高g
有限元分析
内容分析
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相关文献总数
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(/年)
文献信息
篇名
带有力反馈控制的三明治式微机械干涉加速度计
来源期刊
纳米技术与精密工程
学科
工学
关键词
微加速度计
光栅
干涉
力反馈
三明治
年,卷(期)
2011,(1)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
21-25
页数
分类号
TH822
字数
2397字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1672-6030.2011.01.005
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
叶雄英
清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
62
1070
15.0
31.0
5
伍康
清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
8
28
3.0
5.0
9
陈烽
清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
5
30
3.0
5.0
13
周兆英
3
20
2.0
3.0
14
刘力涛
清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
2
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传播情况
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引证文献(2)
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二级引证文献(1)
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引证文献(0)
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二级引证文献(1)
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引证文献(0)
二级引证文献(1)
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节点文献
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光栅
干涉
力反馈
三明治
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
纳米技术与精密工程(英文)
主办单位:
天津大学
中国微米纳米技术学会
出版周期:
季刊
ISSN:
1672-6030
CN:
12-1458/03
开本:
出版地:
天津市南开区卫津路92号
邮发代号:
创刊时间:
语种:
eng
出版文献量(篇)
1315
总下载数(次)
2
总被引数(次)
8103
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
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纳米技术与精密工程(英文)2011年第4期
纳米技术与精密工程(英文)2011年第3期
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