碳化硅高温压力传感器的研究进展与展望

• 作者: 严子林 唐飞 庞天照 王晓浩
• 来源期刊: 噪声与振动控制
• 学科: 物理学
• 关键词: 振动与波 碳化硅 高温 压力传感器
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 170-174
• 分类号: O3
• 字数: 4622字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-1355-2011.01.037

摘要

碳化硅材料由于其优良的电学、机械和化学特性,对于适用于高温恶劣环境下压力传感器等领域的开发,有着广阔的前景,逐渐为人们所重视.简单介绍了碳化硅的材料特性,阐述国外碳化硅高温压力传感器的最新发展成果,比较电容式、压阻式和光学结构压力传感器的结构、特点,分析我国碳化硅压力传感器发展问题与挑战.