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摘要:
碳化硅材料由于其优良的电学、机械和化学特性,对于适用于高温恶劣环境下压力传感器等领域的开发,有着广阔的前景,逐渐为人们所重视.简单介绍了碳化硅的材料特性,阐述国外碳化硅高温压力传感器的最新发展成果,比较电容式、压阻式和光学结构压力传感器的结构、特点,分析我国碳化硅压力传感器发展问题与挑战.
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文献信息
篇名 碳化硅高温压力传感器的研究进展与展望
来源期刊 噪声与振动控制 学科 物理学
关键词 振动与波 碳化硅 高温 压力传感器
年,卷(期) 2011,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 170-174
页数 分类号 O3
字数 4622字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1006-1355-2011.01.037
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期刊影响力
噪声与振动控制
双月刊
1006-1355
31-1346/TB
大16开
上海市华山路1954号上海交通大学
4-672
1981
chi
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