热丝化学气相沉积法制备优质微米亚微米级单晶金刚石的研究

• 作者: 孙方宏 张志明 张韬 沈彬
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 热丝化学气相沉积法 微米级单晶金刚石沉积参数
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 页码范围: 7-11
• 分类号: TQ164
• 字数: 2251字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2011.06.002

摘要

利用热丝化学气相沉积法(HFCVD),在硅片衬底上进行微米级(＞1 μm)及亚微米级(＜1 μm)单晶金刚石的沉积研究.微米级金刚石是以高温高压法(HPHT)制备的1μm金刚石颗粒为籽晶,通过甩胶布晶的方法,在衬底上均匀分布晶种,并通过合理控制沉积工艺参数,在衬底上形成晶形完好的单晶金刚石.在沉积2h后,可消除原HPHT籽晶缺陷,沉积6h后,生长出晶形良好的立方八面体金刚石颗粒(约4 μm)；对于亚微米级单晶金刚石,是直接在衬底上进行合成,通过调控沉积参数(如衬底预处理方法,偏流大小,沉积时间)对单晶金刚石的分布密度和颗粒度进行控制,经过2h的沉积,最终获得了0.7μm的二十面体单晶金刚石.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙方宏	上海交通大学机械与动力工程学院	91	969	17.0	25.0
2	沈彬	上海交通大学机械与动力工程学院	69	959	17.0	27.0
3	张志明		6	55	4.0	6.0
4	张韬	上海交通大学机械与动力工程学院	10	28	3.0	4.0