砂轮划片机主轴系统装配精度对划切槽质量的影响

• 作者: 常亮 张伟 田知玲 郎小虎 闫启亮
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 主轴 晶圆 划切槽
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 材料制备工艺与设备
• 页码范围: 20-23
• 分类号: TN605
• 字数: 1311字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2011.06.007

摘要

分析砂轮划片机主轴系统的装配精度,使得主轴刀盘面在工作台笛卡尔坐标系中的位置精度以及在安装砂轮刀片后,划切晶圆对划切槽质量造成的影响,如何调整刀盘的精度,降低崩边和裂角,提高划切槽的质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张伟		8	21	3.0	4.0
2	闫启亮		6	23	3.0	4.0
3	常亮		4	7	1.0	2.0
4	郎小虎		4	14	3.0	3.0
5	田知玲		1	5	1.0	1.0