基于CCD工艺的模型参数提取测试图形设计

• 作者: 杨洪 石念 祝晓笑 翁雪涛
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: CCD 模型参数提取 测试图形
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 492-494,572
• 分类号: TN386.5
• 字数: 2762字
• 语种: 中文

摘要

介绍了一套基于CCD工艺的模型参数提取用测试图形（Testchip）设计方法。该Testchip的设计充分考虑了CCD工艺特征、中测测试条件、CCD放大器特性等各种关键因素,并在对应的工艺线进行流片,得到了完整的测试数据。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	祝晓笑		19	44	5.0	5.0
2	杨洪		6	8	2.0	2.0
3	翁雪涛		10	10	2.0	2.0
4	石念		1	1	1.0	1.0